NF EN 62047-11
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11 : test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
| Fecha edición: |
2014-03-12
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés, Francés |
| Keywords: | SEMICONDUCTOR DEVICES|MICROELECTRONICS|MATERIALS|TESTS|MEASUREMENT|THERMAL EXPANSION |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores, 29.045 - Materiales semiconductores, 31.080 - Dispositivos semiconductores, 31 - ELECTRONICA, 29 - ELECTROTECNIA |
| CTN: |
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