NF EN 62047-17
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17 : bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
| Fecha edición: |
2015-11-14
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés, Francés |
| Keywords: | SEMICONDUCTOR DEVICES|MICROELECTRONICS|MATERIALS|METALS|CERAMICS|POLYMERS|TESTS|ENVIRONMENTAL TESTS|PRESSURE TESTS|MEASUREMENT|MECHANICAL PROPERTIES|DEFORMATION|THIN FILMS |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores, 31.080 - Dispositivos semiconductores, 31 - ELECTRONICA |
| CTN: |
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