NF EN 62047-21
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21 : test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
| Fecha edición: |
2014-12-26
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés, Francés |
| Keywords: | SEMICONDUCTOR DEVICES|MICROELECTRONICS|MATERIALS|MECHANICAL TESTS|MECHANICAL STRENGTH|LOADS : FORCES|DEFORMATION |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores, 31.080 - Dispositivos semiconductores, 31 - ELECTRONICA |
| CTN: |
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