NF EN 62047-26
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26 : description and measurement methods for micro trench and needle structures
| Fecha edición: |
2016-06-25
En Vigor
|
|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés, Francés |
| Keywords: | GEOMETRY|DESIGNATION|MICROELECTRONICS|SEMICONDUCTOR DEVICES|DEPTH|WIDTH|STRUCTURES|MEASUREMENT|DESCRIPTION|SYMBOLS |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores, 29.045 - Materiales semiconductores, 31.080 - Dispositivos semiconductores, 29 - ELECTROTECNIA, 31 - ELECTRONICA |
| CTN: |
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