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BS IEC 62047-46:2025

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane

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Fecha edición:	2025-04-30 En Vigor
Idiomas disponibles:	Inglés
ICS:
CTN:
Equivalencia Internacional	Idéntica IEC 62047-46 Ed.1.0

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