DIN 32564-1:2004-05
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology
| Fecha edición: |
2004-05-01
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Alemán |
| Resumen: | This document defines general terms, which relate to the production of micro-systems. Its purpose is to ease the communication about technical issues by harmonization of the vocabulary. Das Dokument definiert allgemeine Begriffe, die in der Fertigung von Mikrosystemen eingesetzt werden. Es hat den Zweck, durch Festlegung einer einheitlichen Begriffsbildung die Verständigung über technische Inhalte zu erleichtern. |
| Keywords: | Definitions|Fine mechanics|Manufacturing|Manufacturing equipment|Microtechnique|Plant construction|Plant engineering|Production engineering|Production equipment|Semiconductor engineering|Standardization|Terminology|Workpieces |
| ICS: | 01.040.39 - Mecánica de precisión. Joyería (Vocabularios), 39.020 - Mecánica de precisión |
| CTN: | |
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Reemplazo Normas |
Reemplaza a DIN 32564-1:2003-06 |
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