DIN 50452-3:1995-10
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters
| Fecha edición: |
1995-10-01
En Vigor
|
|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés, Alemán |
| Resumen: | The document describes methods for the determination of measuring deviations of particle sizes, particle concentrations and the resolving capacity of optical particle counters based upon measuring of the laser light-scattering. Das Dokument beschreibt Verfahren zur Feststellung der Meßabweichungen von Teilchengrößen, Teilchenkonzentrationen und das Auflösungsvermögen von optischen Durchflußpartikelzählern, die auf der Grundlage der Laserstreulichtmessung arbeiten. |
| Keywords: | Calibration|Concentration|Concentration values|Definitions|Flow measurements|Laser engineering|Materials testing|Measuring techniques|Optical measurement|Particle analysis|Particulate matter measurement|Semiconductor technology |
| ICS: | 29.045 - Materiales semiconductores |
| CTN: | |
|
Reemplazo Normas |
Reemplaza a DIN 50452-3:1993-08 |
Normas citadas
Libros relacionados
Normas relacionadas
Colecciones temáticas relacionadas
