DIN EN 62047-4:2011-03
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010
| Fecha edición: |
2011-03-01
En Vigor
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| Idiomas disponibles: | Alemán |
| Resumen: | This part of DIN EN 62047 describes generic specifications for MEMS, which are the basis for specifications given in other parts of this series for various types of MEMS applications. This standard specifies general procedures for quality assessment to be used in the IECQ-CECC system and establishes general principles for describing and testing of electrical, optical, mechanical and environmental characteristics. MEMS described in this standard are basically made of semiconductor material. In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Fachgrundspezifikationen für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MST) als Basis für die Spezifikationen beschrieben, welche in anderen Teilen dieser Serie für unterschiedliche MST-Anwendungsbereiche angegeben sind. Diese Norm enthält Festlegungen sowohl zu allgemeinen Verfahren für Qualitätsbewertungen, um sie innerhalb des IECQ-CECC-Systems zu verwenden, als auch allgemeine Prinzipien zur Beschreibung und Messung bzw. Prüfung von elektrischen, optischen, mechanischen und umgebungsspezifischen Kenngrößen. Bauteile der Mikrosystemtechnik, die in dieser Norm beschrieben sind, werden grundsätzlich auf der Basis von Halbleiter-Werkstoffen hergestellt. |
| Keywords: | Automation|Bus systems|Classification systems|Communication technology|Components|Data bus|Electrical engineering|Electrical properties|Electromechanical|Environment|Generic specification|Information processing|Information technology|Materials|Measuring techniques|Mechanical properties|Microelectronics|Microsystem techniques|Microtechnique|Optical properties|Parameters|Properties|Quality assessment|Semiconductor devices|Specification (approval)|Symbols|System engineering|Tensile strain|Tensile testing|Testing|Testing conditions|Testing devices|Thin films|Thin-film technology |
| ICS: | 31.080.01 - Dispositivos semiconductores en general, 31.220.01 - Componentes electromecánicos en general |
| CTN: | |
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Equivalencia Internacional |
Idéntica EN 62047-4:2010 Idéntica IEC 62047-4:2008 |
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Reemplazo Normas |
Reemplaza a DIN IEC 62047-4:2006-09 |
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