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IEC 62047-12:2011

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures

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Fecha edición:	2011-09-13 En Vigor
Idiomas disponibles:	Inglés, Francés
ICS:	31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores
CTN:	1449

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El libro en palabras del autor

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