IEC 62047-30:2017
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
| Fecha edición: |
2017-09-15
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores, 31.140 - Dispositivos piezoeléctricos y dieléctricos |
| CTN: | 1449 |










