IEC 62047-37:2020
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
| Fecha edición: |
2020-04-28
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés, Francés |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores, 31.140 - Dispositivos piezoeléctricos y dieléctricos |
| CTN: | 1449 |
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