IEC 62047-42:2022
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 42: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
| Fecha edición: |
2022-09-16
En Vigor
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| Idiomas disponibles: | Inglés |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores |
| CTN: | 1449 |










