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ISO 21859:2019

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment

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Fecha edición:	2019-06-18 En Vigor
Idiomas disponibles:	Inglés
ICS:	81.060.30 - Cerámicas avanzadas
CTN:	54756

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El libro en palabras del autor

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