ISO 22278:2020
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
| Fecha edición: |
2020-08-24
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés |
| ICS: | 81.060.30 - Cerámicas avanzadas |
| CTN: | 54756 |
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