ISO 23131-3:2026
Ellipsometry — Part 3: Transparent single layer model
| Fecha edición: |
2026-01-30
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Inglés |
| Resumen: | This document uses ellipsometric measurements and their analysis to specify the method for the determination of the layer thickness d of a transparent layer and the optical (refractive index n) or dielectric (real part ε1) constants/functions based on the transparent single layer model within a spectral region, for which k = 0 applies. |
| ICS: | 17.020 - Metrología y medición en general |
| CTN: | ISO/TC 107 - 51358 |
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