UNE-EN 62047-16:2015
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 16: Métodos de ensayo para determinar la tensión residual de películas MEMS. Métodos de curvatura de la oblea y de deflexión del haz (Ratificada por AENOR en agosto de 2015.)
| Fecha edición: |
2015-08-01
En Vigor
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| Fecha de ratificación: | 2015-08-01 |
| Idiomas disponibles: | Inglés |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores |
| CTN: | CTN 209/SC 47 - Dispositivos de semiconductores |
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Equivalencia Internacional |
Idéntica IEC 62047-16:2015 Idéntica EN 62047-16:2015 |
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